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PIEZO NANOSTAGE 採用瑞典PIEZOMOTOR 壓電馬達技術,應用壓電材料變形撥腳式的原理,改變了一般壓電馬達總行程僅能在1mm內的限制,進而擴展到100mm,也可針對需求做長短的行程調整。

壓電馬達有別於一般馬達使用磁力來控制馬達位移,而採用壓電材料物理形變進行摩擦驅動,並透過壓電材料微量變形的特性,產生奈米精度的位移定位控制。

滑台位置回授系統,採用MicroERENISHAW光學尺系統,貼附於滑台中比一般伺服馬達系統編碼器安裝於馬達尾端,有更精確的位置回饋。